頂空測氧分析儀是一種特殊的順磁性氣體，既氧氣在磁場中受到吸引力，在測量單元中，氧氣的濃度可通過懸掛在非線性磁場中的啞鈴的偏轉量來測量，氧氣的濃度越大，啞鈴偏轉靜止位置越大。
頂空測氧分析儀采用了先進的進口高性能電化學傳感器，與新型微機技術相結合，是新型智能化工業手套箱可用頂空測氧分析儀。有壽命長、精度高、響應時間快的特點，不受其他氣體成分的干擾。而在進行微量氧分析時，由于空氣中氧含量高達21%，故而如果處理不當易造成對樣品的污染和干擾，出現分析結果數據不正常。
在進行微量氧分析時，由于空氣中氧含量高，故而如果處理不當極易造成對樣品的污染和干擾，出現分析結果數據不正常，一些因素可能會影響測量使用，比如：
1、背景氣干擾
如燃料電池式分析儀，不同的主背景氣(與背景氣的摩爾質量有關)，會影響分析結果。并且少量的氫氣也會對分析結果產生較大的影響。
對于樣氣中含有微量酸性氣體的情況，只有特殊型式的赫茲電池式氧分析儀才能排除于擾，防止傳感器中毒，給出正確分析數據。其他燃料電池式氧分析儀均不能用于酸性氣體分析。
2、干擾雜質影響
干擾雜質主要指除背景氣和待測組分外存在的少量未知雜質，如燃料電池式微氧儀對酸性、氧化性氣體敏感，如果氣體中含有酸性氣體成分，如CO2，H2S，HCl，HCN等，則燃料池傳感器易中毒失效。而微量的還原性氣體對氧化鋯式微氧儀的分析結果產生影響，最近又發現微量的N2O對頂空測氧分析儀產生影響，所以在檢測時要充分考慮到雜質的存在，選擇恰當的分析儀，才能得到準確的結果。
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